超纯水中的有机物用什么来表征？含量有多少？怎么去除？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：超纯水中的有机物用什么来表征？含量有多少？怎么去除？

用什么来反馈水中有机物？如上图，我们常用总有机碳（TOC）来表示。在12寸的晶圆厂中，对于TOC的要求尤为严格，已接近0.5ppb。如果总有机碳超标，会在晶圆上表现为“雾蒙蒙”的感觉。

TOC 来自何处？

① 原水中含TOC，如植物、动物或微生物的自然分解产物；人造化肥，杀虫剂等
② 回收水中含TOC，如芯片制程中使用的有机溶剂、显影剂等合成有机物，也会少量地随着制程回收水一起进入超纯水处理

③ 造水系统本身产生的TOC，如离子交换树脂，反渗透膜等的分解或残留物等

如何去除TOC？

一般采用有物理方法，化学方法和生物方法。

物理方法：絮凝／气浮／过滤、超滤、活性炭、离子交换，反渗透等

絮凝/气浮／过滤：向水中加入絮凝剂，促进水中颗粒物与溶解有机物的结合，形成较大的絮团，使其能够被更容易地从水中分离。而气浮是将气泡引入水中，与水中的有机物结合，使其浮在水面，便于清除。

超滤/反渗透：都是是膜分离技术，特别是反渗透膜，由于其过滤孔径微小，对有机物具有良好的去除能力，成为超纯水处理流程中必不可少的处理工艺。

活性炭吸附：活性炭是一种具有极高比表面积的材料，能够有效吸附水中的有机物

离子交换：通过交换水中有机分子的阳离子或阴离子，去除溶解于水中的有机物。

化学方法：氧化法

氧化法：臭氧，过氧化氢，氯气氧化；UV照射氧化等将有机物氧化分解成二氧化碳和水等无机物，更容易除去。
生物法：微生物分解有机物。