JEOL Ltd.社长兼首席执行官Izumi Oi已开发出配备激光加工系统的扫描电子显微镜SEM系统“LazEdge”并将于2026年5月25日开始销售。聚焦离子束系统FIB系统等截面制备仪器在科研院所、大学及工业领域的科学技术领域中得到广泛应用。近年来市场对能够高速加工大面积样品同时实现高质量加工表面的系统需求日益增长。“LazEdge”是一款将JEOL的扫描电子显微镜SEM与Hamamatsu Photonics K.K.的专有激光技术相结合的仪器可在电子显微镜的样品室内部进行激光加工。该系统能够将通过高速、大面积加工制备的高质量截面样品在不接触外部环境的情况下无缝转移至后续分析环节例如扫描电子显微镜SEM观察、元素分析和晶体取向分析。因此它能够满足多种分析需求包括金属样品分析、需要隔绝空气的电池分析以及需要高速截面制备的半导体失效分析。[主要特性]在样品室内进行高质量截面制备通过将激光加工系统集成到扫描电子显微镜SEM中LazEdge能够利用其专有的光学系统该系统能够对激光束进行空间相位调制在样品室对大面积样本进行高速高质量的截面制备同时显著减少激光诱导周期性表面LIPSS结构。“LazEdge Shield”实现稳定、整洁加工专有的屏蔽技术“LazEdge Shield”可最大限度减少加工过程中产生的碎屑飞溅从而实现清洁加工避免对探测器、色谱柱和样品室壁造成污染。此外该激光系统可同时聚焦于样品加工位置和屏蔽罩上的激光照射位置。该技术实现了同步进行加工与屏蔽罩清洁防污染。这些技术在始终保持稳定功率的同时提供了高质量的截面制备。无缝、高通量的加工与观测通过在扫描电子显微镜SEM样品室内部安装屏蔽罩并在样品室内进行加工处理可以实现加工与观察的无缝衔接并提高通量。例如在背散射电子衍射EBSD测量中仅通过激光加工即可获得质量足以满足EBSD测量的截面。通过自动重复加工和测量过程还可以实现三维EBSD数据的采集。[销售目标] 10台/年JEOL Ltd.3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, JapanIzumi Oi总裁兼首席执行官股票代码6951东京证券交易所主板LazEdge激光扫描电子显微镜系统
