摘要如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。任务描述Mirau 干涉仪示意图系统构建模块和光路普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面反射镜、半透明光学元件分束器和实际测试对象。从光源到探测器有两条主要路径1. 一束光束通过分束器然后被测试表面反射并一路返回探测器。2. 另一束光束被分束器反射聚焦在参考表面上在此被镜像再次被分束器反射然后通过显微镜物镜返回到探测器。通过使用手动通道配置模式无需依次设置这两个光路这也可以在一个光学设置中实现。理想化和通道控制仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。2. 对于半透明板分束器是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。为了忽略第二个表面上的背反射我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。3. 实际上小参考面附在透明板上。 在这里我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。4. 对于全部场追迹仿真使用了Modeling Level 1因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。半透明板分束器设置通常具有不同反射率值的部分透明板用于分束因为能量分裂越平衡干涉条纹的对比度就越好。系统构建模块 – 光路 #1光穿过半透明板• 测试表面位于物镜的焦点区域。• 通道/ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。系统构建模块 – 光路 #2半透明板反射的光• 对于分束器的反射光路/- 通道必须被激活。系统构建模块 - 测试和参考表面• 在这个仿真中参考和测试表面是以理想镜子为模型。这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。• 将真实样品放置在测试表面上通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪可以使用不同的干涉图案来计算高度。• 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡但要大于焦点的尺寸。仿真结果 - 干涉条纹• Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。• 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化从而导致更密集的干涉条纹。文件信息
